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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다.
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안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의
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플라즈마 챔버
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556 |
Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록)
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Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계.
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매칭시 Shunt와 Series 값
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ICP 후 변색 질문
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Collisional mean free path 문의...
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코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다
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Plasma arcing 관련하여 문의드립니다.
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Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance
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OES 분석 관련해서 질문드립니다.
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Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
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ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요??
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RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다.
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DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다.
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플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서)
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LF Power에의한 Ion Bombardment
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541 |
플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다.
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RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
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