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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] 2357
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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49616
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61115
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559 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 500
558 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 503
557 플라즈마 챔버 [2] 506
556 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 507
555 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 510
554 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 512
553 ICP 후 변색 질문 522
552 Collisional mean free path 문의... [1] 527
551 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 528
550 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 528
549 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 529
548 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 533
547 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 539
546 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 539
545 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 562
544 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 567
543 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 571
542 LF Power에의한 Ion Bombardment [1] 575
541 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 583
540 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 586

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