Others 플라즈마 내에서의 현상 [Neo-classical transport theory]

2016.06.08 00:50

김준민 조회 수:1619

플라즈마 안에서는 원자들끼리 (비)탄성충돌이 발생하거나 그로 인해서 재결합이나 전하 이동, 여기, 이온화, 이완, 분리 같은 현상들이 발생하는 것으로 아는데 이런 현상들이 플라즈마의 유동에도 영향을 미치는지 궁금합니다. 그리고 플라즈마 난류 시뮬레이션에 이런 현상들이 반영되는지도 궁금합니다. 특수한 상황에서는 고전적인 MHD로 플라즈마 유동을 설명할 수 없다고 하던데 그런 것들이 플라즈마 내에서 발생하는 현상들과 관련이 있는 것인지 궁금하여 질문 드립니다. 답변 부탁드리겠습니다. 감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103384
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24721
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61544
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73525
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105971
181 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [Collisional sheath 정의] [1] 1626
180 전자 온도 구하기 [쉬스 전압, 스퍼터링 효과] [1] file 1645
179 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경] [1] 1650
178 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요 [RF power와 power factor] [1] 1668
177 강의를 들을 수 없는건가요? [플라즈마 진단 심포지움 및 PSES-net] [2] 1673
176 잔류시간 Residence Time에 대해 [표면 유속 정보, 유체해석 코드] [1] 1677
175 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [Global model] [1] 1717
174 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [플라즈마 토치에서의 Rotational temperature] [1] 1736
173 low pressure영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니다. [파센 커브와 글로우 방전] [1] 1740
172 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [챔버 벽면 성질 및 가스 손실] [1] 1770
171 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [RF Power와 reflection] [1] 1825
170 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [Physical sputtering과 cleaning] [1] 1834
169 데포 중 RF VDC DROP 현상 [부유 전극의 self bias 형성] [1] 1848
168 Plasma Cleaning 관련 문의 [Remote plasma source] [1] 1885
167 플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료] [1] 1949
166 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [Radio-Frequency Plasma] [1] 1963
165 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 2070
164 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [고전압 방전 및 DBD] [2] 2094
163 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [Plasma chemistry] [3] 2110
162 RF 전압과 압력의 영향? [DC glow 방전, Paschen's Law] [1] 2281
쓰기
태그

Boards

XE Login