Matcher matching box에 관한 질문
2010.05.05 13:54
안녕하세요...
저는 반도체 회사에서 근무하는 사람입니다..
matching box 관련하여 질문이 있어서 글을 올립니다..
현업에서 matching box관련 monitoring하는 parameter중 Load position과 Tune position이란 게 있습니다..
여기 사이트에서 load capacitor와 tune capacitor 얘기가 언급되어 아마 capacitor 관련 용어인 것으로 짐작
되어 지는데 정확한 의미와 역할을 알고 싶습니다..
제 나름대로 확인한 바로는 impedance matching은 L nework와 Pi network가 있는데 위에서 언급한 Load
capacitor와 Tune capacitor는 Pi network에서 사용되는 2개의 capacitor 이름인가요?
답변 부탁 드립니다..
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73034 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17630 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55517 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65701 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86031 |
| 10 | 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] | 26099 |
| 9 | 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] | 26921 |
| 8 | 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 | 27203 |
| 7 | Arcing [1] | 27707 |
| 6 | esc란? | 27762 |
| » | matching box에 관한 질문 [1] | 29361 |
| 4 | Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) | 34998 |
| 3 | Ground에 대하여 | 38273 |
| 2 |
반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
 | 40581 |
| 1 | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] | 46887 |
- 논문: 이상원박사, " 전기적 특성을 고려한 ICP Source 설계",한국진공학회지 제18권 제3호 2009.5, pp. 176~185(10pages) 를 참고하세요.