Others 활성이온 측정 방법

2017.11.07 15:04

.. 조회 수:572

안녕하세요

배가스 제거 기술 개발을 하고 있는 직장인 이성수라고 합니다.

플라즈마 관련 문의 사항이 있어서 연락을 드립니다.

오존을 이용하여 gas를 분해하는 기술에 대해서 알아보고 있는데요

오존이 아닌 플라즈마 이온이 gas를 분해하는데 더  강한 산화제로 작용울 할수 있는것 같습니다.

그래서 오존발생기(플라즈마방식)에서 오존 외에 활성이온량을 측정할수 있는 방법을 찾고 있습니다.

활성이온량을 측정할수 있는 방법이 있는지요?

그리고 플라즈마 밀도를 측정하기 위해서 EOS 를 사용하는 것으로 알고 있는데요

플라즈마 밀도와 활성이온량의 의미는 같은것인지요?

현재 활성이온 측정 방법을 알수 없어서 개선방법을 못찾고 있습니다.

교수님의 고견 부탁 드립니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76736
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20206
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68702
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
689 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 546
688 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 547
687 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 547
686 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 550
685 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 551
684 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 555
683 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 558
682 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 564
681 핵융합 질문 [1] 567
» 활성이온 측정 방법 [1] 572
679 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 576
678 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 576
677 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 580
676 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 585
675 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 587
674 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 589
673 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 589
672 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 594
671 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 594
670 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 596
쓰기
태그

Boards

XE Login