PLASMA SPACING은 고정한채 Frequency만 조절하여 플라즈마 세로 영역을 확장할 수 있을까요?

Frequecny가 low일수록 이온의 움직일 수 있는 시간이 늘어 이온이 아래위로 더 움직일 수 있을거 같은데

이를 증명할 수 있는 방법이나, 이 사실에 대해 아시는 분 답변 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77253
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20471
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57382
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68907
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92959
707 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 490
706 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 500
705 plasma striation 관련 문의 [1] file 501
704 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 502
703 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 502
702 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 509
701 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 514
700 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 521
699 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 523
698 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 531
697 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 539
696 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 545
695 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 549
694 self bias [1] 552
693 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 554
692 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 555
691 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 555
690 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 568
» Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 576
688 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 576

Boards


XE Login