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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [250] 76379
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19968
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57055
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68517
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91225
51 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1157
50 플라즈마 챔버 [2] 1149
49 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1142
48 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1121
47 공정플라즈마 [1] 1107
46 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1073
45 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1050
44 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1035
43 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1024
42 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1023
41 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 975
40 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 944
39 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 929
38 anode sheath 질문드립니다. [1] 927
37 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 911
36 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 901
35 Plasma Generator 관련해서요. [1] 896
34 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 837
33 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 824
32 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 805

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