Matcher PECVD설비 Matcher 아킹 질문
2023.12.18 13:36
안녕하세요 PECVD설비 다루는 현직 엔지니어 입니다.
Setup중 RPS를 쓰지 않아 RF Generator에서 3.5kW를 공급하는데 Shunt box 볼테이지와 주파수 및 클린 레시피도 바꾸어 봤는데 matcher 내부에 아킹이 발생하네요.
근데 이상한 점이 Process Run 중일 때는 Clean 에러가 뜨지만 제네레이터 초기화 후 메뉴얼로 RF Clean하면 잘 되는데 아킹 발생 이유를 알 수 있을까요?
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 76932 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20307 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57226 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68777 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92756 |
700 | 상압 플라즈마 관련 문의입니다. [1] | 21515 |
699 | 47th American Vacuum Society International Symposium 2000 | 21425 |
698 | CCP 에서 Area effect(면적) ? | 21419 |
697 | Breakdown에 대해 | 21387 |
696 | 플라즈마 실험 | 21352 |
695 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21340 |
694 | 플라즈마 측정기 [1] | 21337 |
693 | Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 | 21322 |
692 | ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] | 21202 |
691 | 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] | 21116 |
690 | 플라즈마란? | 21063 |
689 | 대기압플라즈마 진단 | 21026 |
688 | RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] | 20984 |
687 | UBM 스퍼터링 장비로... [1] | 20918 |
686 | plasma cleanning에 관하여.... | 20839 |
685 | IEDF EQP에 대한 답변 | 20808 |
684 | 이온주입량에 대한 문의 | 20742 |
683 | 교재구입 | 20727 |
682 | Three body collision process | 20651 |
681 | Lissajous figure에 대하여.. | 20630 |