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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다.
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알고싶습니다
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교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다.
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Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요
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안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다
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Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
[2] | 2117 |
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PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다.
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안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
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접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다
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전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
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챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다.
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Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계.
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플라즈마 PIC 질문드립니다.
[1] | 10209 |
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[RIE] reactive, non-reactive ion의 역할
[1] | 1005 |
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545 |
O2 Asher o-ring 문의드립니다.
[1] | 560 |
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진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해
[1] | 1387 |
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543 |
자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다.
[1] | 308 |
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Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate
[1] | 1242 |
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플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서)
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540 |
CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다.
[3] | 2073 |
