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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64231
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573 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 646
572 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 649
571 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 653
570 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 657
569 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 657
568 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 665
567 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 674
566 플라즈마 충격파 질문 [1] 678
565 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 683
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563 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 689
562 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 692
561 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 698
560 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 700
559 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 702
558 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 705
557 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 709
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555 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 720
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