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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61081
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117 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 617
116 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1190
115 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1441
114 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 2600
113 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1355
112 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2001
111 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 1894
110 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 2862
109 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1256
108 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3287
107 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 8426
106 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6280
105 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8251
104 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8314
103 VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] 51499
102 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 11811
101 안녕하세요 교수님. [1] 8497
100 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8415
99 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 12486
98 MFP에 대해서.. [1] 7486

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