플라즈마를 이용해서 가스 분해를 해봤는데요

분광진단을 통해서 플라즈마 토치의 위치별 분해된 종들의 rotational temperature를 측정해 봤습니다.

근데 어떤 한 분해종이 플라즈마 토치중심부에서  위로 올라갈수록 온도가 올라가는 경향이 타나났습니다.

이런 현상이 나타나는 원인이 무엇인가요? 몇번을 측정해도 같은 결과가 나오더군요

혹시 rotational temperature가 밀도와 관련이 있나요? 그 분해종은 저온영역에서 밀도가 급속도로 높아지는 경향이 보이거든요

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76740
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20211
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57169
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68704
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92297
153 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2019
152 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2129
151 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2130
150 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2173
149 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2231
148 플라즈마볼 제작시 [1] file 2238
147 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2239
146 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2281
145 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2327
144 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2398
143 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2433
142 질문있습니다. [1] 2572
141 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2727
140 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2765
139 CVD 공정에서의 self bias [1] 3102
138 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3166
137 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3205
136 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3301
135 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3384
134 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3416

Boards


XE Login