DC glow discharge DC Plasma 전자 방출 메커니즘
2018.04.19 11:22
반도체 장비업체에서 일하고 있는 사람입니다.
전기, 전자 전공으로 최근에 Plasma에 관심이 생겨서 공부하고 있습니다.
DC Plasma에서 전자방출 메커니즘이 여러가지가 있는 것으로 알고 있습니다.
타운센트 방전 이론에 의한 알파, 감마 작용는 이해가 가는데,
1. 플라즈마 내부 광자에 의한 음극에서의 이차 전지 방출(Photoemission)
2. 준안정(metastable) 종이 음극을 때릴 때 이차 전자 방출
위의 두가지가 무엇을 의미하는지 잘 모르겠습니다.
알고계시는 선배님들 알려주시면 감사하겠습니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76738 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92283 |
| 153 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 824 |
| 152 | Descum 관련 문의 사항. [1] | 3721 |
| 151 | glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] | 447 |
| 150 | OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] | 5927 |
| 149 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 468 |
| 148 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 709 |
| 147 | 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] | 3443 |
| 146 | RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] | 5677 |
| 145 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 484 |
| 144 | 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] | 941 |
| 143 | Collisional mean free path 문의... [1] | 787 |
| 142 | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14142 |
| » | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1038 |
| 140 | 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! | 24122 |
| 139 | 플라즈마 기초입니다 [1] | 1282 |
| 138 | O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] | 1562 |
| 137 | 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] | 1843 |
| 136 | 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] | 6540 |
| 135 | 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] | 1001 |
| 134 | Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 | 341 |