대학교 종합설계 프로젝트 과제를 위해 NF3/NH3 플라즈마 가스를 이용한 dry cleaning 실험을 진행해야하는데, 

관련해서 플라즈마응용연구실에서 외부 학생들이 직접 실험 or 실험 참관이 가능한지 여쭤보고 싶어서 문의 남깁니다. 


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76816
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20246
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57186
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68739
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92575
156 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6202
155 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5933
154 RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] 5681
153 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 5171
152 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4832
151 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4196
150 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3975
149 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 3814
148 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3789
147 Descum 관련 문의 사항. [1] 3730
146 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3558
145 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3465
144 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3444
143 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3435
142 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3406
141 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3336
140 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3221
139 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3166
138 CVD 공정에서의 self bias [1] 3126
137 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2779

Boards


XE Login