안녕하세요. 카이스트에서 석사 1년차로 있는 대학원생입니다.

 

Single probe로 electron energy probability distribution을 구할 때, low energy electron은 bulk plasma에서 평형 상태에 도달한 전자들을 지칭하고 high energy electron은 cathode에서 방출되고 probe sheath를 통해 bulk plasma로 가속되는 전자들을 지칭하는 것으로 알고 있습니다.

 

이 두 그룹의 전자들을 구분할 수 있는 식이 따로 있는지 궁금합니다. 실험을 통해 얻은 EEPF에서 몇 eV부터 몇 eV까지는 low energy electrons이고 몇 eV부터 몇 eV까지는 high electrons이다 라는 형태의 답을 얻고 싶습니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76901
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20295
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57212
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68764
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92723
157 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1961
156 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1963
155 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1997
154 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 2017
153 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2087
152 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2146
151 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2151
150 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2179
149 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2250
148 플라즈마볼 제작시 [1] file 2252
147 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2277
146 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2288
145 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2336
144 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2437
143 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2452
142 질문있습니다. [1] 2585
141 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2732
140 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2795
139 CVD 공정에서의 self bias [1] 3158
138 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3167

Boards


XE Login