번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76872
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92694
63 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3058
62 Dry Etching Uniformity 개선 방법 [2] 4315
61 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3838
60 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3170
59 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2914
58 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 8053
57 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6499
56 고온 플라즈마 관련 8090
55 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6570
54 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7704
53 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] 10317
52 Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] 15811
51 [Sputter Forward,Reflect Power] [1] 29275
50 RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. 31684
49 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20207
48 H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] 19431
47 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. file 30047
46 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. 17195
45 ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] 34964
44 UBM 스퍼터링 장비로... [1] 20916

Boards


XE Login