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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [Matcher의 알고리즘]
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식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [O2 plasma, ion sputtering]
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etch defect 관련 질문드립니다 [Plasma distribution]
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[CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속]
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poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
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엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [나노광전자 데이터 분석]
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Uniformity 관련하여 문의드립니다. [베르누이 정리]
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ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [플라즈마 방전 및 이온 가속]
[1] | 1528 |
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챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자]
[1] | 1498 |
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Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [Chucking/dechucking 파티클 제어]
[1] | 1463 |
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Vacuum chamber(Etching)내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계 [Plasma bulk Temp와 wall Temp]
[2] | 1442 |
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RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [Self bias]
[1] | 1441 |
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sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias]
[1] | 1440 |
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center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [CCP 균일도, CCP edge]
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Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching]
[3] | 1361 |
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O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
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플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [CCP 방전 원리]
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안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다.
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플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [세정 공정 개발]
[1] | 1261 |
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PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어]
[1] | 1235 |
