번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] 78037
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20846
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57737
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93631
72 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1282
71 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1245
70 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1239
69 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1227
68 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1220
67 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1211
66 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 1205
65 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1203
64 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 1187
63 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1181
62 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1163
61 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1140
60 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1134
59 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1130
58 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 1084
57 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 958
56 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 943
55 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 940
54 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 936
53 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 875
쓰기
태그

Boards

XE Login