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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65730
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36 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 910
35 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 899
34 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 840
33 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 811
32 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 778
31 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 751
30 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 748
29 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 735
28 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 722
27 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 699
26 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 691
25 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 666
24 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 634
23 ICP 후 변색 질문 624
22 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 601
21 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 588
20 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 588
19 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 553
18 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 541
17 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 540
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