ESC ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할

2017.12.18 05:12

PVDPVD 조회 수:4733

반도체 업종에서 근무하는 사원 입니다.


PVD Chamber에서 ESC 사용하는데 Center tap bias의 역할과 Center tap bias로 생길 수 있는 문제점에 대해서


궁금하여 질문 드립니다..


아직 초년생이라 장비 manual을 보는데도 애로사항이 많아 문의 드립니다.

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