ESC ESC Cooling gas 관련
2019.02.21 19:22
Etch공정에서 ESC Cooling gas로 He을 주로 사용하는데 열전도도가 좋고 불활성가스라는 이유로 많이 사용되는것으로 알고있습니다
비교적 원가가 저렴한 N2가스를 사용하는 경우도 있을까요? 열전도도 반응성이 N2또한 괜찮은것으로 알고있는데 혹시 문제가 있을까요?
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76791 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20229 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57178 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68723 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92447 |
670 | 플라즈마 진단법에 대하여 [1] | 20578 |
669 | 확산펌프 | 20518 |
668 | wafer 전하 소거: 경험 있습니다. | 20481 |
667 | RIE장비 에서 WALL 과 TOP 온도 | 20428 |
666 | Langmuir probe tip 재료 | 20408 |
665 | CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] | 20385 |
664 | 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] | 20312 |
663 | 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] | 20261 |
662 | 형광등과 플라즈마 | 20251 |
661 | 플라즈마 matching | 20241 |
660 | DBD플라즈마와 플라즈마 impedance | 20207 |
659 | Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. | 20205 |
658 | 플라즈마 진동수와 전자온도 | 20054 |
657 | 석영이 사용되는 이유? [1] | 20027 |
656 | CCP의 Vp가 ICP의 Vp보다 높은 이유 | 20010 |
655 | [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] | 19839 |
654 | 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] | 19781 |
653 | 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. | 19766 |
652 | 대기압 상태의 플라즈마 측정 | 19731 |
질소 화합물이 만들어 질 수가 있으니, 삼가하시는 것이 좋을 것 같고, 최근 추세는 ESC 온도를 정밀하게 제어하는 방법에 대해서 관심들이 많이 있어 보이니 참고하시기 바랍니다.