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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51246
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63740
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83487
556 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 631
555 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 636
554 플라즈마 챔버 [2] 643
553 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 657
552 플라즈마 충격파 질문 [1] 658
551 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 670
550 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 671
549 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 672
548 RF 전압과 압력의 영향? [1] 673
547 문의 드립니다. [1] 674
546 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 674
545 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 675
544 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 677
543 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 685
542 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 686
541 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 688
540 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 689
539 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 700
538 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 704
537 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 715

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