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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61116
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539 플라즈마 충격파 질문 [1] 590
538 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 594
537 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 595
536 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 610
535 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 611
534 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 612
533 문의 드립니다. [1] 616
532 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 617
531 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 624
530 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 630
529 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 630
528 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 632
527 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 634
526 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 635
525 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 640
524 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 643
523 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 646
522 wafer bias [1] 646
521 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 646
520 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 647
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