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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [99] 3632
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15313
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50569
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62980
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82013
548 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 627
547 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 630
546 플라즈마 충격파 질문 [1] 640
545 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 640
544 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 648
543 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 657
542 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 658
541 문의 드립니다. [1] 660
540 LF Power에의한 Ion Bombardment [1] 661
539 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 662
538 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 663
537 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 665
536 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 665
535 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 675
534 RF matcher와 particle 관계 [2] 686
533 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 689
532 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 689
531 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 696
530 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 697
529 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 699

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