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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62973
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24 DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 19604
23 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20002
22 RIE장비 에서 WALL 과 TOP 온도 20193
21 wafer 전하 소거: 경험 있습니다. 20347
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19 UBM 스퍼터링 장비로... [1] 20663
18 스퍼터링시 시편두께와 박막두께 [1] 21069
17 펄스바이어스 스퍼터링 답변 21692
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12 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23178
11 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 23673
10 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24067
9 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24379
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