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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65728
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586 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 692
585 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 699
584 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 708
583 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 709
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581 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 722
580 플라즈마 충격파 질문 [1] 723
579 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 735
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570 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 760
569 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 768
568 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 778

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