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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소
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RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다.
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RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다.
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새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서
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방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다.
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..?
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581 |
텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다.
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플라즈마 충격파 질문
[1] | 723 |
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Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법
[1] | 735 |
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RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다
[1] | 738 |
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577 |
전자 온도 구하기
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플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다.
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식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문
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문의 드립니다.
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3-body recombination 관련 문의드립니다.
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엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다.
[1] | 751 |
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PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다.
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RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다
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ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!!
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Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계.
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