안녕하십니까 현재, 증착관련 기업에서 인턴을 하고있는 김윤재 학생입니다.

Depostion에 관심이 많아서, 교수님의 질문방을 보며 공부(?)를 간혹하는 학생입니다.

 

현재, SiO2박막을 증착하며, 엘립소미터를 이용하여 굴절률과 증착두께를 측정하고 있습니다

그런데, Data를 측정하면  굴절률이 1.30/1.35/1.40/1.45 이런식으로 다양하게 나옵니다. 당연히, 증착두께도 굴절률에 따라 다르게 나옵니다.

SiO2의 굴절률이 1.46으로 알고있는데 굴절률이 다양하게 측정이 된다면, 여러 요인에 의해서 SiO2박막이 제대로 증착이 안된거 같습니다.

 

그런데, 이런 경우라면  Data를 기록할때 어떻게 기록해야하는 궁금합니다.

각 굴절률과  그에 따른 박막두께를 다 기록해야하는지.... 혹은 굴절률과 측정두께의 평균을 구해야 하는지 궁금합니다.... 

유의미한 data를 측정하고 싶은데 지식이 없는 학부생 질문이라 죄송합니다....

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73070
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17637
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55521
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65716
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86076
587 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 689
586 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 689
585 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 699
584 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 708
583 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 709
582 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 713
581 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 721
580 플라즈마 충격파 질문 [1] 723
579 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 728
578 전자 온도 구하기 [1] file 732
577 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 737
576 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 746
575 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 747
» 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 748
573 문의 드립니다. [1] 749
572 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 750
571 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 757
570 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 759
569 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 767
568 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 776

Boards


XE Login