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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61628
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80242
520 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1658
519 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 979
518 Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. 16586
517 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 650
516 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2193
515 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 341
514 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 2602
513 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 408
512 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 385
511 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 14787
510 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 525
509 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 2114
508 진학으로 고민이 있습니다. [2] 682
507 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 607
506 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 1412
505 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 381
504 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 905
503 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 938
502 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 4578
501 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 979
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