번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48362
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 48249
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 53813
369 활성이온 측정 방법 [1] 250
368 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 487
367 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 738
366 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 808
365 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 1500
364 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 690
363 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 512
362 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 310
361 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 335
360 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 527
359 DC bias (Self bias) [3] 2456
358 ICP와 CCP의 차이 [3] 5127
357 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 463
356 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 437
355 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 610
354 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 910
353 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 664
352 Impedence 위상관련 문의.. [1] 569
351 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 285
350 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 1087

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