번호 제목 조회 수
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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 23798
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 60476
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72329
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 102855
692 전공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [Ion beam source] [1] file 801
691 OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [Etching] [1] 29845
690 plasma modeling 관련 질문 [Balance equation] [1] 536
689 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [OES와 atomic spectroscopy] [1] 1073
688 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 904
687 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation] [1] 1364
686 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2458
685 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [Plasma density와 Balance equation] [1] 1672
684 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 1180
683 sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias] [1] 1357
682 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 993
681 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 888
680 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [PECVD와 PACVD] [1] 2529
679 plasma striation 관련 문의 [Plasma striation] [1] file 803
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 692
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 892
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 881
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 1646
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas] [1] 1750
673 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1369

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