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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[262]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20044 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57103 |
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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642 |
Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다.
[1] | 4729 |
641 |
Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법
[1] | 1857 |
640 |
식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문
[1] | 1080 |
639 |
임피던스 매칭 및 플라즈마 진단
[1] | 1234 |
638 |
Plasma 식각 test 관련 문의
[1] | 3943 |
637 |
RF 전압과 압력의 영향?
[1] | 1607 |
636 |
Plasma Cleaning 관련 문의
[1] | 1310 |
635 |
Uniformity 관련하여 문의드립니다.
[1] | 1133 |
634 |
standing wave effect에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 1551 |
633 |
ICP 대기압 플라즈마 분석
[1] | 699 |
632 |
RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계
[1] | 2254 |
631 |
IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다.
[2] | 1481 |
630 |
안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다.
[1] | 443 |
629 |
텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다.
[1] | 1249 |
628 |
ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요??
[1] | 1930 |
627 |
ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요?
[1] | 8644 |
626 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
[3] | 3486 |
625 |
ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다.
[1] | 14658 |
624 |
CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다.
[1] | 1300 |
623 |
전자 온도에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 994 |