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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70417
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684 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 953
683 sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias] [1] 1195
682 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 785
681 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 762
680 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [PECVD와 PACVD] [1] 2228
679 plasma striation 관련 문의 [Plasma striation] [1] file 633
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 642
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 780
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 746
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 1411
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas] [1] 1499
673 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1245
672 Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지] [1] 893
671 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1189
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 635
669 플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료] [1] 1627
668 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 1595
667 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 552
666 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [플라즈마 응용기술] [1] 899
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1050

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