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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61081
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97 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 7787
96 Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? 15693
95 remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] 19235
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93 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] 17000
92 반도체 관련 질문입니다. 28436
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89 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] 21079
88 플라즈마내의 전자 속도 [1] 21455
87 Plasma Gas의 차이점 [1] 17040
86 TMP에 대해 다시 질문 드립니다. 17829
85 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19213
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83 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] 17344
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81 RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] 20343
80 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [1] 22279
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