Others 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요!
2009.09.17 11:57
목포대학교에서 플라즈마 응용 박막에 대해 연구하는 학생입니다.. 궁금한게 있어서요~ 현재 저희 장비의 2차 펌프는 T.M.P입니다. 음~ 저희는 장비 실험이 끝나고 TMP를 냉각의 이유로 3시간동안~ OFF Time을 주고 전원을 내립니다.. 항상 의문이였거든요~ 꼭 3시간동안 장비를 켜놔야하나? 칠러나 장비가 장동하는데~ 소음이 심하다라는게 거슬리고 또 TMP를 냉각하는 3시간동안 저의 시간이 자유롭지 못 한것도 하나의 이유이구요! 그래서 한번은 TMP를 분리해 보았습니다.. 근데 통신케이블 과 전원 케이블 ,냉각수 라인 밖에 없더군요... 진공을 해제할때 TMP 스위치를 내리는데~ 그러면 TMP전원은 들어오지 않죠~ 당연히 데이터 이동도 필요없고 그져 냉각수만 돌려주면 될껏같은데 결론으로 제 생각은요~ 냉각수 1시간만 돌려도 ,TMP는 차가워지는걸 알수잇는데~~ 오일확산펌프처럼 손으로 만져서 차가워지면 꺼도 되나요?? 아니면 냉각이 아닌 어떤 다른 이유가 있나요?? 궁금해 죽겟습니다... 도와주세요
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76732 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20202 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68701 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
133 | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2727 |
132 | 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] | 1292 |
131 | DC bias (Self bias) [3] | 11262 |
130 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9520 |
129 | ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] | 1973 |
128 | RF frequency와 RF power 구분 | 39063 |
127 | RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 | 2281 |
126 | PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] | 2765 |
125 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 679 |
124 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 432 |
123 | RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] | 5152 |
122 | 문의 드립니다. [1] | 868 |
121 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1423 |
120 | O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] | 6181 |
119 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1445 |
118 | 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate | 373 |
117 | 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] | 962 |
116 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1388 |
115 | 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] | 1955 |
114 | RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] | 4180 |