DC glow discharge 플라즈마 압력에 대하여
2017.11.10 11:27
안녕하세요 현재 2차원물질 공정을 연구하는 석사과정 대학원생입니다.
이 공정중에는 플라즈마 처리가 있는데요
power가 커짐에 따라 챔버내부의 빛도 밝아지는 것을 볼수 있는 반면에
압력을 30에서 120mTorr으로 증가시켰을때는 어두워지는 것을 관찰하였습니다.
power와 마찬가지로 압력도 밝기에 비례할것이라고 예상하였는데 어떤 이유가 있는지 궁금합니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76751 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20217 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57170 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68707 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92311 |
| 134 | Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 | 341 |
| » | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2727 |
| 132 | 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] | 1292 |
| 131 | DC bias (Self bias) [3] | 11265 |
| 130 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9521 |
| 129 | ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] | 1974 |
| 128 | RF frequency와 RF power 구분 | 39068 |
| 127 | RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 | 2281 |
| 126 | PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] | 2768 |
| 125 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 679 |
| 124 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 432 |
| 123 | RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] | 5155 |
| 122 | 문의 드립니다. [1] | 868 |
| 121 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1424 |
| 120 | O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] | 6184 |
| 119 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1447 |
| 118 |
입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate
 | 373 |
| 117 | 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] | 963 |
| 116 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1390 |
| 115 | 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] | 1955 |
Glow discharge를 공부하면 쉽게 이해가 됩니다 (본 게시판에서 수차례 설명을 했습니다. 참고하시기 바랍니다). 즉, 플라즈마 내에서 전자가 에너지를 효과적으로 받고 얻은 에너지를 원자/분자에 효과적으로 전달함으로써 빛이 밝아지겠고, 그렇지 못하면 빛의 세기가 줄어들 것입니다. 즉, 전자의 에너지 획득의 과정으로 해석을 해 보기 바랍니다.