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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65684
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107 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2093
106 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2038
105 플라즈마볼 제작시 [1] file 2009
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103 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1866
102 질문있습니다. [1] 1858
101 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1848
100 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 1824
99 CVD 공정에서의 self bias [1] 1701
98 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1672
97 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1651
96 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1628
95 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1601
94 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1522
93 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 1519
92 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 1465
91 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1456
90 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1378
89 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1341
88 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1308
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