번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
42 ICP 후 변색 질문 722
41 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 718
40 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 692
39 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 689
38 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 686
37 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 672
36 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 661
35 Polymer Temp Etch [1] 635
34 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 633
33 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 598
32 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 594
31 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 590
30 RF Sputtering Target Issue [2] file 570
29 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 536
28 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 535
27 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 469
26 PECVD Uniformity [1] 466
25 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 455
24 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 440
23 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 440

Boards


XE Login