Deposition 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다.
2021.01.18 21:55
안녕하십니까 현재, 증착관련 기업에서 인턴을 하고있는 김윤재 학생입니다.
Depostion에 관심이 많아서, 교수님의 질문방을 보며 공부(?)를 간혹하는 학생입니다.
현재, SiO2박막을 증착하며, 엘립소미터를 이용하여 굴절률과 증착두께를 측정하고 있습니다
그런데, Data를 측정하면 굴절률이 1.30/1.35/1.40/1.45 이런식으로 다양하게 나옵니다. 당연히, 증착두께도 굴절률에 따라 다르게 나옵니다.
SiO2의 굴절률이 1.46으로 알고있는데 굴절률이 다양하게 측정이 된다면, 여러 요인에 의해서 SiO2박막이 제대로 증착이 안된거 같습니다.
그런데, 이런 경우라면 Data를 기록할때 어떻게 기록해야하는 궁금합니다.
각 굴절률과 그에 따른 박막두께를 다 기록해야하는지.... 혹은 굴절률과 측정두께의 평균을 구해야 하는지 궁금합니다....
유의미한 data를 측정하고 싶은데 지식이 없는 학부생 질문이라 죄송합니다....
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] | 75778 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19464 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56676 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68054 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90353 |
617 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19686 |
616 | DC SPT 문의 | 19662 |
615 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19638 |
614 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19632 |
613 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 | 19620 |
612 | cross section 질문 [1] | 19577 |
611 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19442 |
610 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19441 |
609 | self bias [1] | 19357 |
608 | QMA에 관하여 [1] | 19354 |
607 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19343 |
606 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19333 |
605 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19320 |
604 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19302 |
603 | CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 | 19298 |
602 | MFC | 19288 |
601 | [Q]플라즈마 생성위한 자유전자라는게 뭐죠? | 19244 |
600 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19170 |
599 | scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] | 19154 |
엘립소메트리 진단에 관해서는 한양대학교 나노광전자학과에 계시는 안일신교수님께 문의드려 보세요. 기구 동작에서 데이터 분석까지 전반에 대해 지도를 받을 수 있을 것 입니다.