ICP ICP 대기압 플라즈마 분석

2021.11.11 14:47

플라즈마스터 조회 수:750

안녕하세요. 교수님,

 

 

합성을 목적으로 두고 있는 5kW, 13.56MHz RF generator, ICP coil 을 이용해 대기압 플라즈마를 생성할 때 플라즈마 특성을 분석을 하고 싶은데,  일반적으로 많이 사용하는 RGA는 진공 환경에서 작동되는 것으로 알고있습니다. 관련 내용을 홈페이지에서 검색해 보니 2004년도에 교수님께서는 탐침과 OES 등을 이용해 분석하셨다고 쓰여있는데,

 

1. 혹시 그 동안 분석 방법에 대해서 발전된 것이 있는지,

2. 여전히 같은 방법으로 사용하고 계시다면 탐침과 OES로 어떤 것을 사용하였는지 

 

제가 고체 물리 전공이지만 시료 합성을 위해 PECVD 관련 내용을 공부한지 얼마 안돼 관련 전공 지식이 많이 부족한 상태입니다. 추가적으로 해당 모델에 대해서 제가 공부하기 좋은 내용을 추천해 주시면 감사하겠습니다.

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] 78037
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20847
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57737
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93631
679 plasma striation 관련 문의 [1] file 523
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 586
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 691
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 629
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1286
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1349
673 Plasma Arching [1] 1138
672 Polymer Temp Etch [1] 758
671 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 1091
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 547
669 플라즈마 관련 교육 [1] 1491
668 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1456
667 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 500
666 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 835
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 949
664 RF 파워서플라이 매칭 문제 874
663 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 5640
662 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1351
661 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 749
660 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 633
쓰기
태그

Boards

XE Login