Others ICP 후 변색 질문
2018.01.23 19:11
안녕하십니까.
현재 반도체 회사에서 근무하고 있습니다.
ICP 공정 중 일어나는 Sapphire wafer (Al2O3) 변색 관련 질문 드립니다.
BCl3 gas를 이용한 ICP 진행 중 간간히 wafer가 옅은 노란색을 띄는 황변이 발생하고 있고.
황변 발생 wafer는 재열처리로 황변을 제거 하고 있습니다. (가끔 황변이 제거 안되는 경우도 있습니다.)
이와 관련.
1. Oxygen의 숫자 부족
2. Al3 + vacancy 과도의 이유로 추정하고 있습니다.
Ingot 자체의 물성(?)이 원인이라고 파악하고 있는데.
혹시, ICP 진행 중 어떠한 화학반응에 의해 황변이 발생할 가능성이 있는지요.
어떠한 내용이라도 좋습니다.
위 황변 내용과 관련하여 다른 의견이나 지식을 얻고 싶습니다.
ICP 진행 중 wafer 황변 발생의 원인과 그에 따른 해결 방안 혹은 점검 내용이 있다면 알려주시길 부탁드립니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76739 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20207 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68703 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92293 |
649 | 대기압 상태의 플라즈마 측정 | 19728 |
648 | cross section 질문 [1] | 19713 |
647 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19712 |
646 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19687 |
645 | DC SPT 문의 | 19680 |
644 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19658 |
643 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 | 19640 |
642 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19540 |
641 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19470 |
640 | self bias [1] | 19470 |
639 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19460 |
638 | QMA에 관하여 [1] | 19427 |
637 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19416 |
636 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19378 |
635 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19356 |
634 | CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 | 19344 |
633 | MFC | 19333 |
632 | [Q]플라즈마 생성위한 자유전자라는게 뭐죠? | 19320 |
631 | scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] | 19213 |
630 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19192 |