번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93631
679 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 631
678 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 633
677 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 633
676 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 651
675 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 652
674 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 656
673 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 659
672 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 665
671 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 666
670 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 669
669 PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어] [1] 673
668 RF Sputtering Target Issue [2] file 677
667 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 680
666 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 683
665 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 687
664 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 689
663 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 689
662 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 691
661 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 705
660 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 706
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