안녕하세요?

호서대학교 에너지공학과 재학중인 강병우라고 합니다.

스퍼터링을 공부하다가, 플라즈마에 대해 궁금한게 생겨서 질의 드립니다.

 "플라즈마 구 예시"(링크)

 

플라즈마 구의 경우, 중심부에 음극을 위치시키고, 구 안에 비활성기체를 넣어주고, 고전압을 걸어주면 방전현상이 일어나게 된다까지는 이해가 됩니다.

 

그런데, 스퍼터링의 경우에는 음극과 양극이 위치하고 있어서, 방전으로 인해 생긴 전자가 양극을 통해 흘러서 전자의 흐름이 발생할 것입니다. 스퍼터링 기구 안에서의  전자의 흐름으로 인해 전자기파도 발생하고, 전자가 다른 입자에 부딪혀 여기시키면서 한번더 전자파를 발생시키고, 이로 인해, 플라즈마가 빛을 나타내는 것으로 이해하고 있습니다.

 

그런데, 플라즈마구의 경우에 따로 양극이 없고 유리로 둘러쌓여있는데, 이 전자가 흘러나갈 수 있는 통로가 있나요?

 

손가락을 갖다 대거나 하면, 빛이 손가락 쪽을 향하는데, 그럼 이 플라즈마로 보이는 빛, 즉 전자가 유리를 뚫고, 손가락을 통해 빠져나가는 것인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [127] 5573
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16855
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51343
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64186
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84149
551 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 719
550 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 720
549 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 727
548 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 728
547 plasma 형성 관계 [1] 729
546 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 739
545 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 742
» 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 753
543 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 754
542 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 763
541 Plasma Generator 관련해서요. [1] 765
540 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 769
539 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 770
538 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 771
537 진학으로 고민이 있습니다. [2] 773
536 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 775
535 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 779
534 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 781
533 RF 전압과 압력의 영향? [1] 792
532 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 797

Boards


XE Login