Others AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상...
2004.06.21 15:23
질문 ::
안녕하십니까?
그간 Q/A를 관심있게 보아왔는데, 하나둘 복구되고 있어 정말 다행입니다.
다름이 아니라 AC 전기장을 이용하여 일반적인 플라즈마를 발생시키고자 할때(저온플라즈마) 발생되는 전압/전류 파형이 어떻게 되는지 궁금해서 문의드립니다.
저희가 간단한 시험을 하다보면 그 위상차가 재현이 안되던데...
만을 DBD 반응기라면, 컨덴서라고 가정하여 전압/전류의 위상차가 90도 날텐데요...
참고로 위의 사항에 대한 reference가 있을까요?
AC 전기장에 대한 플라즈마 전기적 특성에 관한...
그럼 감사드리며 줄입니다.
답변 ::
플라즈마를 발생하기 위하여 인가되는 전압과 플라즈마 내에서 흐르는 전류의 위상차이는 플라즈마의 전도성에 의해서
차이가 나게 됩니다. 이 전도성은 플라즈마도 하나의 유전체로써 생각을 하면 쉽게 이해할 수 있을 것 입니다. 플라즈마의
유전 상수 값은 전자 플라즈마 주파수와 중성 개스 입자와의 충돌 주파수 등의 함수로 나타나게 됩니다. 따라서
서로의 위상차가 발생함은 이들 값에 의한 영향이며 특히 DBD에서는 DBD 장치 자체의 유전 상수가 포함되게 됩니다.
결국 전위와 전류 간의 위상차에 대한 확실한 reference를 얻게 된다는 말은 플라즈마의 특성, 밀도, 온도등에 대한
값을 잘 알고 있다는 말과 같습니다. 저희실험실도 DBD의 V/I 곡선으로 부터 간접적으로 플라즈마의 밀도를
측정하는 실험을 진행하고는 있습니다만, 아쉽게도 아직도 D BD에서 발생되는 streamer의 갯수, 플라즈마 특성등에 대한
연구는 현재 진행주에 있는 것으로 알고 있습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76734 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68701 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
649 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 685 |
648 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 687 |
647 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 694 |
646 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 696 |
645 | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 701 |
644 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 702 |
643 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 706 |
642 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 708 |
641 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 709 |
640 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 715 |
639 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 716 |
638 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 718 |
637 | ICP 후 변색 질문 | 726 |
636 | 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 726 |
635 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 737 |
634 | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 737 |
633 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] | 742 |
632 | 교수님 질문이 있습니다. [1] | 745 |
631 | center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] | 754 |
630 | 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] | 755 |