안녕하세요, 이번에 대학원에 진학하게 된 학생입니다.


제 전공은 생물공학인지라 플라즈마에 관한 내용을 잘 알지 못하는데, 이번에 샘플의 표면 산화처리를 위해 플라즈마 기계의 이용을 권유받았습니다.

다만 문제가 있는 부분이 제 샘플이 약 10-100um의 플라스틱 분말이라는 점입니다.

진공을 걸고 푸는 과정에서 샘플이 날려 기계에 문제가 될 수 있다는 답변을 받아 여러 방법을 고민중입니다.


제가 고민하는 실험방법은 크게 두 종류입니다.

1. 밀폐가 가능한 유리용기 내에 미리 산소를 주입하여 포화도를 올린 후 밀봉한 상태로 플라즈마 처리

2. 공기는 이동이 가능하나 분말은 이동이 불가능한 사이즈의 필터를 이용해 샘플을 가둬둔 후 플라즈마 처리


이러한 실험이 가능하려면 종이 혹은 유리를 뚫고서 내부에 있는 분말까지 플라즈마 처리가 이루어져야 하는데,

이 부분을 확신할 수 없어 문헌조사만 하고 있습니다.

제가 찾아보고 이해하는데 시간적 한계가 와서 이 곳에 질문을 남깁니다.

답변이 가능하신 부분이라면 좋겠지만, 혹여 그렇지 못하다면 이와 관련된 논문이나 자료가 있을지도 여쭤보고 싶습니다.

제가 사용할 기기는 femco science 사의 cute라는 기계입니다.


답변 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [159] 73018
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17612
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55513
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65694
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86025
565 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 793
564 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 802
563 Plasma Generator 관련해서요. [1] 807
562 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 807
561 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 809
560 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 814
559 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 820
558 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 821
557 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 823
556 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 834
555 진학으로 고민이 있습니다. [2] 835
554 플라즈마 챔버 [2] 838
553 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 838
552 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 838
551 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 840
550 플라즈마 관련 교육 [1] 845
549 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 846
548 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 850
547 고진공 만드는방법. [1] 851
546 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 854

Boards


XE Login