ICP ICP 플라즈마에 관해서

2004.06.19 15:58

관리자 조회 수:32014 추천:276

안녕하세요.

늘 이곳에 와서 질문-응답의 열띤 글들과 학회 방문기를 잘 읽었는데 모두 없어졌다니 너무 가슴이 아프네요.
예전에 있었던 내용인 것 같은데 최근 실험을 하다가 부딪히게 되어 질문을 드립니다. 그때 미리 보았으면 좋았을 텐데.

ICP 플라즈마를 발생시킴에 있어서 CCP mode 와 ICP mode 의 차이가 어떻게 다른 것인지요? CCP mode를 마치 흔히 사용하듯이 기판(평판 기판)에 바이어스를 걸어줄때 발생하는 플라즈마처럼 생각하면 되는지요?
그리고 또하나 Matching box 에서 capacitance 를 접지시킬때와 그렇지 않은 경우 어떻게 차이가 나는지요?

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76819
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20247
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57191
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68739
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92578
21 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 515
20 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 507
19 plasma striation 관련 문의 [1] file 480
18 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 469
17 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 445
16 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 435
15 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 361
14 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 325
13 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 251
12 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 177
11 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 171
10 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 166
9 skin depth에 대한 이해 [1] 155
8 ICP에서 전자의 가속 [1] 149
7 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 140
6 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 107
5 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 103
4 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 88
3 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 74
2 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 10
쓰기
태그

Boards

XE Login