ICP ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!!
2021.03.01 21:54
안녕하세요 제가 ICP-RIE로 SIO2를 식각하는 과정에서 나머지 변수는 모두 똑같고 (CF4+He gas) RF power를 올려서 식각했는데 측정결과 RF power를 올렸음에도 식각률이감소했습니다. 왜 이러한 결과가 나왔는지 그 이유에 대해 혹시 설명해주실수 있을까요? ㅠㅠ
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76756 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20219 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57171 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68710 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92326 |
650 | PM을 한번 하시죠 | 19729 |
649 | cross section 질문 [1] | 19715 |
648 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19712 |
647 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19688 |
646 | DC SPT 문의 | 19680 |
645 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19658 |
644 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 | 19640 |
643 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19542 |
642 | self bias [1] | 19472 |
641 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19472 |
640 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19461 |
639 | QMA에 관하여 [1] | 19427 |
638 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19417 |
637 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19379 |
636 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19356 |
635 | CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 | 19344 |
634 | MFC | 19333 |
633 | [Q]플라즈마 생성위한 자유전자라는게 뭐죠? | 19322 |
632 | scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] | 19214 |
631 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19192 |