Matcher RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다.
2022.04.19 11:40
안녕하세요
측정장비 분야에서 일하고 있는 연구 엔지니어입니다.
ICP(13.56MHz) 이용해 플라즈마 띄우고 Standard L-type Matching Network 사용중입니다.
Matcher에 대해 어느정도 이론은 이해했다고 생각했는데 현실은 다르네요.
안테나와 Matcher 間 거리, 안테나의 길이, Clamp로 엮는 위치 등등 모든게 변수가 되는 것 같습니다...
이러한 이유로 Plasma를 띄운 후 Current 값이 계속해서 안정적이지 못하고 뛰는 것 같은데 혹시 이러한 값들도 영향을 미치나요?
혹시 최선의 값을 알고 계신다면 알려주시면 진심으로 감사하겠습니다.
바쁘신 연구 와중에도 항상 저희에게 도움을 주셔서 감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76743 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20213 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57169 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68706 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92299 |
649 | PM을 한번 하시죠 | 19729 |
648 | cross section 질문 [1] | 19713 |
647 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19712 |
646 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19688 |
645 | DC SPT 문의 | 19680 |
644 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19658 |
643 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 | 19640 |
642 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19540 |
641 | self bias [1] | 19471 |
640 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19470 |
639 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19460 |
638 | QMA에 관하여 [1] | 19427 |
637 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19416 |
636 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19379 |
635 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19356 |
634 | CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 | 19344 |
633 | MFC | 19333 |
632 | [Q]플라즈마 생성위한 자유전자라는게 뭐죠? | 19320 |
631 | scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] | 19213 |
630 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19192 |
최선의 설계는 전기공학적인 설계 방법이 있을 것 같습니다만, 저는 경험이 없어 즉답을 드리기 힘듧니다. 다만 제 실험에서는 물리적으로 잘 결합이 되고, 접지에 각별하게 신경을 써야 한다는 정도만 알고 있습니다. 특히 clamp로 묶는 일 들은 매우 신중하셔야 할 것 같고요. RF는 DC와 매우 다르게 다루어야 하는 점 꼭 신경쓰시기 바랍니다.