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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76864
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676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 1076
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 1934
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas] [1] 2071
673 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1524
672 Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지] [1] 1181
671 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1523
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 843
669 플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료] [1] 2089
668 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 1993
667 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 798
666 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [플라즈마 응용기술] [1] 1151
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1453
664 RF 파워서플라이 매칭 문제 1087
663 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.[CCP와 Vdc, Vpp] [1] file 8970
662 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [RF Power와 reflection] [1] 1987
661 플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation] [1] 1128
660 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [Self bias와 RIE] [1] 4701
659 N2, N2O Gas 사용시 Plasma 차이점 [N2 Plasma] [1] 2172
658 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [Cleaning 후 재활용] [1] 871
657 etch defect 관련 질문드립니다 [Plasma distribution] [1] 1811

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