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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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546 |
[RIE] reactive, non-reactive ion의 역할
[1] | 1390 |
545 |
O2 Asher o-ring 문의드립니다.
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544 |
진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해
[1] | 2616 |
543 |
자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다.
[1] | 362 |
542 |
Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate
[1] | 1654 |
541 |
플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서)
[1] | 987 |
540 |
CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다.
[3] | 2655 |
539 |
플라즈마 살균 방식
[2] | 11074 |
538 |
Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다.
[1] | 1072 |
537 |
RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY
[1] | 1534 |
536 |
H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련
[1] | 327 |
535 |
Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다.
[1] | 838 |
534 |
Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 2132 |
533 |
O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다.
[1] | 6131 |
532 |
Plasma etch관련 질문이 드립니다.
[1] | 979 |
531 |
RPS를 이용한 SIO2 에칭
[1] | 1945 |
530 |
쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문
[1] | 1462 |
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질문있습니다 교수님
[1] | 17091 |
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CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문
[1] | 1205 |
527 |
KM 모델의 해석에 관한 질문
[1] | 343 |