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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63767
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519 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 1153
518 Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. 16928
517 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 726
516 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2465
515 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 383
514 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 3298
513 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 464
512 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 454
511 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 16581
510 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 612
509 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 2408
508 진학으로 고민이 있습니다. [2] 747
507 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 680
506 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 1619
505 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 414
504 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1023
503 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1086
502 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 5901
501 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 1138
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