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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73575
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675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 1793
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas] [1] 1892
673 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1415
672 Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지] [1] 1094
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667 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 720
666 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [플라즈마 응용기술] [1] 1050
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1320
664 RF 파워서플라이 매칭 문제 1025
663 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.[CCP와 Vdc, Vpp] [1] file 8300
662 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [RF Power와 reflection] [1] 1832
661 플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation] [1] 1018
660 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [Self bias와 RIE] [1] 882
659 N2, N2O Gas 사용시 Plasma 차이점 [N2 Plasma] [1] 2037
658 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [Cleaning 후 재활용] [1] 787
657 etch defect 관련 질문드립니다 [Plasma distribution] [1] 1638
656 Co-relation between RF Forward Power and Vpp [RF ground] [1] 887

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