번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48518
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 49110
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 54811
375 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 309
374 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 257
373 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 370
372 SiO2를 Etching 할 시 NF3 단독 보다 O2를 1:1로 섞을시 Etching이 잘되는 이유 [1] file 2008
371 플라즈마 압력에 대하여 [1] 860
370 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 1471
369 활성이온 측정 방법 [1] 273
368 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 567
367 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 889
366 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 918
365 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 1594
364 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 795
363 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1097
362 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 367
361 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 455
360 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 568
359 DC bias (Self bias) [3] 3344
358 ICP와 CCP의 차이 [3] 6322
357 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 499
356 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 541

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