번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] 76504
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20047
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68586
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91567
622 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 842
621 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2243
620 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1514
619 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 1317
618 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 699
617 anode sheath 질문드립니다. [1] 951
616 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 715
615 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 693
614 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1438
613 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1927
612 라디컬의 재결합 방지 [1] 773
611 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 1917
610 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1420
609 전자 온도 구하기 [1] file 1089
608 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 312
607 CVD 공정에서의 self bias [1] 3008
606 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3310
605 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1048
604 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1851
603 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1373

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