Sheath RF plasma에 대해서 질문드립니다.

2007.02.08 16:57

오흥룡 조회 수:20974 추천:332

안녕하세요
대학원에서 공부하고 있는 오흥룡이라고 합니다.
제가 plasma에서 공부하면서 궁금한 것을 물어보고자 합니다.

첫째, RF plasma에서 self bias된 정도를 계산하면서,
Brian chapman의 glow discharge process책에서는
양전극의 면적과 전극 근처의 sheath영역에서 potential drop간의 관계식을
Koenig-Maissel Model로 유도하고 있는데요.
이 모델의 가정을 보면, 양쪽 전극의 ion flux값이 동일하다는 가정을 놓습니다.
이 가정을 새울 수 있는 근거가 궁금하고, 어떤 상황에서(예를 들면, power가 많이 걸렸다, 전극의 면적의 차이가 크다.) 이러한 가정이 성립하지 않을 까요? 또 어떤 상황에서 이러한 가정이 실재상황과 근접하는 건지 궁금합니다.

두번째는 만약에 양쪽의 전극의 면적이 서로 다를 경우에 그 전극 근처의 plasma영역(sheath영역제외)에서 charged particle의 density는 어떻게 변할까 하는 문제입니다.
즉 예를 들어 한 전극의 면적이 약 1cm2이고 다른 전극의 면적이 100cm2이라면, 각 전극 근처의 plasma영역에서 charged particle의 수는 어떻게 다를까요?
제가 생각하기에는 plasma영역에서 전체면적을 흐르는 전류량은 일정하므로 그 전류량을 각 영역의 단면적으로 나누면 입자의 flux가 되기 때문에 단면적이 넓은 쪽은 charged particle의 밀도가 줄어들게 될 것 같은데요. 이게 맞는건가요? 아니면 다른 요인에 의해서 전극의 면적이 다를 때, 위치에 따라서 plasma density가 변할까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76871
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92694
117 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6540
116 MFP에 대해서.. [1] 7830
115 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 8126
114 핵융합에 대하여 8564
113 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8582
112 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 8737
111 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8929
110 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8997
109 안녕하세요 교수님. [1] 9043
108 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 9250
107 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 9531
106 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10385
105 DC bias (Self bias) [3] 11298
104 플라즈마 살균 방식 [2] 11483
103 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. 12364
102 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12769
101 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 13065
100 플라즈마의 상태 14082
99 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 14144
98 우주에서의 플라즈마의 성분비 14589

Boards


XE Login