안녕하세요.

반도체업계에서 근무하는 김상완 사원입니다.

Sputter의 지식이 부족하여 질문 올립니다.

배경: PM후 Deporete Check까지는 이상이 없었습니다.

           하루지나고 공정진행시에 반사율 및 Peak 이상 현상이 발생되고 있습니다.

 질문: 공정 진행시에 VDC가 급격하게 상승하여 증착에 이상이 발생되고 있는것으로 보여지는데요.

           Ar은 일정하게 주입되고 있고 다른것도 문제가 없습니다.

          Sputtering 중 VDC가 405~420 가량 유지하다가,

           갑자기 560~570으로 변화하는 이유는 무엇일까요....

         

          

          

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 103059
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24695
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61468
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73496
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105884
121 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [Global model] [1] 1713
120 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [표면 화학 반응] [2] 7257
119 강의를 들을 수 없는건가요? [플라즈마 진단 심포지움 및 PSES-net] [2] 1672
118 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 472
117 3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존] [2] 1313
116 플라즈마 내에서의 현상 [Neo-classical transport theory] [1] 1618
115 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [Breakdown voltage 및 이온화 에너지] [1] 2289
114 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [플라즈마 유전상수] [1] 4925
113 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [Radio-Frequency Plasma] [1] 1960
112 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해] [1] 2590
111 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [이차 전자의 방출 특성] [1] 2413
110 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3237
109 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [플라즈마 토치에서의 Rotational temperature] [1] 1735
108 방전에서의 재질 질문입니다. [방전과 전압] [1] 3792
107 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [플라즈마의 형성 원리] [1] 9650
106 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6675
105 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [RF& DC bias와 matcher의 접지] [1] 9473
104 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [쉬스와 Bulk Plasma 영역] [1] 9203
103 VPP,VDC 어떤 FACTOR인지 알고 싶습니다. [Vpp, Vdc와 플라즈마 발생 원리] [1] 55969
102 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc)+Vp(plasma potential)관련 질문입니다. [플라즈마 전위와 쉬스] [1] 13159

Boards


XE Login