Others 플라즈마 내에서의 현상

2016.06.08 00:50

김준민 조회 수:1426

플라즈마 안에서는 원자들끼리 (비)탄성충돌이 발생하거나 그로 인해서 재결합이나 전하 이동, 여기, 이온화, 이완, 분리 같은 현상들이 발생하는 것으로 아는데 이런 현상들이 플라즈마의 유동에도 영향을 미치는지 궁금합니다. 그리고 플라즈마 난류 시뮬레이션에 이런 현상들이 반영되는지도 궁금합니다. 특수한 상황에서는 고전적인 MHD로 플라즈마 유동을 설명할 수 없다고 하던데 그런 것들이 플라즈마 내에서 발생하는 현상들과 관련이 있는 것인지 궁금하여 질문 드립니다. 답변 부탁드리겠습니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] 78047
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20850
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57738
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93636
119 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1868
118 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1804
117 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1787
116 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1774
115 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1745
114 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1612
113 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1596
112 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1566
111 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1502
110 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1496
109 플라즈마 관련 교육 [1] 1491
108 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1473
107 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1466
106 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1461
» 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1426
104 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1426
103 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1410
102 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1375
101 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1351
100 플라즈마 기초입니다 [1] 1313

Boards


XE Login