Plasma 를 공부하는 중에  bulk plasma 가 아닌 chamber wall 에서의 반응들에 대해 공부하게 되었는데요.

3-body recombination 에 대해 문의드리고자 합니다.

형성된 plasma 가 소모되는 가장 큰 이유로 chamber wall 에서의 충돌이 있다고 알고 있습니다.

단순히 ion 과 electron 이 결합하여 neutral 이 되는 확률은 0 에 수렴하기 때문에

chamber wall 을 통한 3-body recombination 으로 neutral 이 된다고 했는데요.

이때 chamber wall 로의 charge transfer 도 3-body collision 에 의해서 진행되는것인가요?


이렇게 질문을 드리는 이유는

중성빔을 발생시킬때 plasma 를 reflecter 로 입사하여 reflecter 에 charge transfer 후 중성빔을 형성한다고 배웠습니다.

이때 ion 의 charge 가 trasfer 되는 원리가 3-body recombination process 에 의해서 된다고 들은 기억이 있는데

막상 이를 도식화 하려니까 정리 및 이해가 아직 잘 안됩니다.



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77189
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20457
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57356
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68897
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92938
118 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 378
» 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 985
116 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1398
115 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1981
114 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4251
113 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1713
112 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2257
111 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2187
110 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3168
109 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1472
108 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3567
107 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 9271
106 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6479
105 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 9025
104 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8940
103 VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] 55000
102 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12784
101 안녕하세요 교수님. [1] 9060
100 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8583
99 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 13078

Boards


XE Login