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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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| 76731 |
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20201 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57167 |
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다.
[1] | 1309 |
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ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요??
[1] | 2013 |
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ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요?
[1] | 8721 |
626 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
[3] | 3535 |
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ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다.
[1] | 14786 |
624 |
CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다.
[1] | 1332 |
623 |
전자 온도에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 1011 |
622 |
RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때
[1] | 862 |
621 |
CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계
[1] | 2270 |
620 |
데포 중 RF VDC DROP 현상
[1] | 1533 |
619 |
OES 분석 관련해서 질문드립니다.
[1] | 1370 |
618 |
CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다.
[1] | 706 |
617 |
anode sheath 질문드립니다.
[1] | 983 |
616 |
안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다.
[1] | 726 |
615 |
플라즈마를 통한 정전기 제거관련.
[1] | 708 |
614 |
RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
| 1459 |
613 |
CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도
[1] | 1989 |
612 |
라디컬의 재결합 방지
[1] | 789 |
611 |
LF Power에의한 Ion Bombardment
[2] | 2017 |
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PECVD와 RIE의 경계에 대해
[1] | 1453 |
공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.