DC glow discharge 플라즈마 살균 방식

2020.06.19 16:13

박희원 조회 수:11448

안녕하세요! 플라즈마 살균에 대해 이번에 대학에서 과제로 발표를 해야하는 학생입니다. 플라즈마에 대해 계속 찾아보고 있는데, 이해가 안가는 부분이 너무 많아서 이렇게 질문을 드리게 되었습니다. 제가 검색한 바로는 플라즈마 살균(공기청정기)는 고전압플라즈마와 광플라즈마 방식이 있는데, 고전압플라즈마보다 광플라즈마에 맞춰 연구가 많이 되고 있다고 하고, 광플라즈마 특성은 저온에 대기압이고 화학적처리 방식, 오존처리방식, 물리적 처리방식 등이 있다. 

오존처리 방식이 자외선(UVU)를 사용하는 거라는데 맞나요??? 그리고 플라즈마 살균기 동작원리가 궁금합니다. 그냥 외부에 있는 공기를 빨아드려서 내부에서 수산화이온과 산소이온 등으로 분해한후 방출시켜 이온들이 외부에 있는 미세먼지와 바이러스를 제거하는 건가요? 또한 자외선은 어디에 쓰이는 건가요? 이온을 나눌때 사용이 되나요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76730
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20196
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68701
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
629 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1309
628 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 2012
627 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 8720
626 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3533
625 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 14785
624 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1332
623 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1011
622 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 862
621 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2270
620 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1533
619 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 1370
618 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 705
617 anode sheath 질문드립니다. [1] 983
616 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 726
615 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 708
614 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1459
613 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1989
612 라디컬의 재결합 방지 [1] 789
611 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2017
610 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1453

Boards


XE Login