Matcher RF 파워서플라이 매칭 문제

2022.07.21 23:00

김현기 조회 수:835

안녕하세요? 현재 연구실에서 반응성 스퍼터링으로 TiO2 박막을 실험하고 있습니다.

연구실에서 사용하는 RF스퍼터 장비에는 오토매처가 있어 파워 인가 시 자동으로 임피던스 매칭을 수행합니다.

매처는 일반적인 장비로써 Load/Tune capacitor가 내장되어있습니다.

 

현재 RF 파워의 매칭 시간이 너무 긴 문제가 있습니다.

매칭이야 조건을 찾는 과정이니 시간이 걸릴 수 있겠지만, 매칭 시간만 1시간이 넘게 걸리고, 무엇보다 공정 조건이 같은데도 매칭이 이루어지는데 점점 오래 걸리고 있습니다.

 

반응 가스는 고순도 O2를 사용 중에 있으며, 순도는 용접용이어서 낮지 않습니다.

만일 매칭에 방해가 되는 요인이 있다면 어떤 요인이 있는 지 알고 싶습니다.

 

감사합니다.

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