Others RF에 대하여,,

2004.06.21 15:27

관리자 조회 수:17051 추천:226

질문 ::

안녕하십니까??
플라즈마를 공부하는 학생으로서 여러가지 면에서 많은 도움을 받고 있습니다. 다름이 아니라 RF에 대하여 몇가지 질문이 있어 이렇게 문의를 드리게 되었습니다.
1) RF plasma에서의 plasma sustain mechanism은 sheath oscillation이라 고 책에서 보았는데,,  보충 설명을 부탁드리겠습니다.

2) 그리고 cathode 표면에 유도되는 self bias를 왜 DC 전위라 하는지,,
알고 싶고요,, Vrf = Vdc + V COS wt의 의미도 설명부탁드립니다.

3) 마지막으로 RF POWER 300W를 사용하여 방전실험을 하고 있는데,,
gauge에선 power값만 읽을 수 있는데,, 방전 전압과 방전 전류를 측정할수 있는 방법은 없을런지요??

두서없이 많은 질문을 한거 같은데,, 답변을 부탁드리겠습니다..
감사합니다.

답변 ::

안테나에 인가되는 전류 전압을 직접 측정하고자 한다면 안테나의 ground 단에 pierson coil등으로 전류를
측정할 수 있으며 인가되는 전압은 high voltage probe를 이용하여 측정합니다. 측정 위치는 모두
M/B 다음단과 안테나 사이에서 측정하여야 실제 안테나 load 전압/전류를 알수 있습니다. 혹은 V-I probe라는
장치를 M/B 전단, 즉 power supply와 M/B 사이에 연결하여 인가되는 전압/전류 곡선을 얻으며 smith chart를
통하여 현재 matching 여건을 확인 할 수 있습니다. 하지만 이들 값으로 실제 형성되어 있는 플라즈마의 전류
등에 대한 정보를 유추하기는 매우 어렵습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76871
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92694
117 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6540
116 MFP에 대해서.. [1] 7830
115 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 8126
114 핵융합에 대하여 8564
113 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8582
112 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 8737
111 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8929
110 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8998
109 안녕하세요 교수님. [1] 9043
108 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 9250
107 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 9531
106 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10385
105 DC bias (Self bias) [3] 11298
104 플라즈마 살균 방식 [2] 11483
103 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. 12364
102 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12769
101 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 13065
100 플라즈마의 상태 14082
99 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 14144
98 우주에서의 플라즈마의 성분비 14589

Boards


XE Login